A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata (2010)
- Authors:
- USP affiliated authors: CARREÑO, MARCELO NELSON PAEZ - EP ; COLOMBO, FÁBIO BELOTTI - EP
- Unidade: EP
- DOI: 10.1149/1.3474147
- Subjects: ELETROQUÍMICA; SIMULAÇÃO DE SISTEMAS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: New Jersey
- Date published: 2010
- Source:
- Título do periódico: Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010
- ISSN: 1938-5862
- Volume/Número/Paginação/Ano: v.31, n.1, p. 101-108, 2010
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti e PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, v. 31, n. 1, p. 101-108, 2010Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1149/1.3474147. Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Colombo, F. B., & Páez Carreño, M. N. (2010). A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, 31( 1), 101-108. doi:10.1149/1.3474147 -
NLM
Colombo FB, Páez Carreño MN. A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata [Internet]. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 101-108.[citado 2024 abr. 19 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.3474147 -
Vancouver
Colombo FB, Páez Carreño MN. A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata [Internet]. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 101-108.[citado 2024 abr. 19 ] Available from: https://doi.org/10.1149/1.3474147 - Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach
- Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares
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Informações sobre o DOI: 10.1149/1.3474147 (Fonte: oaDOI API)
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