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Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless (2011)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: MARTINS, ANDRÉ LUIS - EESC
  • USP Schools: EESC
  • Sigla do Departamento: SEL
  • Subjects: PROCESSAMENTO DE SINAIS ÓPTICOS; ESPECTROFOTOMETRIA; FILMES FINOS; MONITOR; ÓPTICA
  • Language: Português
  • Abstract: Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O sistema tradicional de monitoramento de espessura de filmes, baseado em cristal ressonante, não atende aos requisitos de rescisão e repetibilidade do processo exigidos para a fabricação deste tipo de filtro. Já o monitoramento óptico, por sua vez, é um sistema que atende aos requisitos de fabricação destes filtros. Neste trabalho apresenta-se o desenvolvimento de um sistema automático de monitoramento óptico banda larga, para fabricação de filtros com filmes finos multicamadas, que se baseia na utilização de equipamentos ópticos de uso geral disponíveis no mercado. Para realizar análises de desempenho referentes exclusivamente ao algoritmo de automatização, um ambiente de simulação foi preparado, no qual os dados fornecidos pelo equipamento de aquisição de características ópticas durante a deposição efetiva foram substituídos por dados gerados por um algo ritmo de simulação de crescimento do filme. Deste modo, o algoritmo de automatização e seus sistemas de segurança puderam ser exercitados. As simulações mostraram que o sistema proposto possui potencial para tornar mais preciso e repetitivo o processo de fabricação de filtros, de modo que atendam aos requisitos das aplicações especiais
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 24.03.2011
  • Acesso online ao documento

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    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EESC31100115157TESE 7834
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    • ABNT

      MARTINS, André Luis; RODRIGUES, Evandro Luis Linhari. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless. 2011.Universidade de São Paulo, São Carlos, 2011. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Martins, A. L., & Rodrigues, E. L. L. (2011). Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless. Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/?&lang=pt-br
    • NLM

      Martins AL, Rodrigues ELL. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Martins AL, Rodrigues ELL. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/?&lang=pt-br