Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais (2011)
- Authors:
- Autor USP: MEDINA, HECTOR BAEZ - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: ÓPTICA ELETRÔNICA; MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: No presente trabalho é realizado um estudo da viabilidade de integrar dois dispositivos ópticos: micro-lâmpadas incandescentes e filtros interferenciais com o intuito de obter um dispositivo único com características próprias. A fabricação destes dispositivos ópticos é feita utilizando materiais dielétricos, obtidos por deposição química a vapor assistida por plasma (PECVD), e usando técnicas convencionais de microeletrônica desenvolvidas no nosso laboratório. Basicamente, neste trabalho são apresentadas simulações numéricas, processo de fabricação e caracterização de cada um dos dois dispositivos ópticos assim como a caracterização do dispositivo óptico integrado obtido. As micro-lâmpadas incandescentes são fabricadas a partir do princípio de emissão de luz de um corpo negro. Para isso, um filamento de cromo, isolado do meio ambiente por duas camadas dielétricas de oxinitreto de silício, é polarizado eletricamente com uma tensão contínua com a finalidade de aumentar a temperatura do filamento até atingir a incandescência. Também, com a finalidade de reduzir a dissipação térmica nessa região, a micro-lâmpada é suspensa através da corrosão anisotrópica do substrato de silício. Outrossim, os filtros interferenciais são fabricados sobre substratos de vidro a partir de uma série de camadas PECVD alternadas de Si3N4 e SiO2, com espessuras de 240 e 340 nm e índices de refração de 1.91 e 1.46 respectivamente, com o objetivo de produzir picos de atenuação na transmitância da luz na região do visível do espectro eletromagnético. Foram construídos filtros com 9, 11 e 13 camadas. Os resultados deste trabalho mostraram que é possível realizar a integração eficiente destes dois dispositivos ópticos para produzir uma fonte luminosa que permita a passagem de uma determinada faixa de comprimentos de onda.Foi demonstrado também que, tanto a largura da faixa bem como a região de filtragem, podem ser controladas através do número, índice de refração e espessuras das camadas constituintes do filtro interferencial. Finalmente, os resultados das simulações numéricas mostraram-se bastante coerentes com os resultados experimentais obtidos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 07.04.2011
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ABNT
BÁEZ MEDINA, Héctor. Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais. 2011. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01092011-155430/. Acesso em: 07 maio 2024. -
APA
Báez Medina, H. (2011). Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01092011-155430/ -
NLM
Báez Medina H. Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais [Internet]. 2011 ;[citado 2024 maio 07 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01092011-155430/ -
Vancouver
Báez Medina H. Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais [Internet]. 2011 ;[citado 2024 maio 07 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01092011-155430/
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