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Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares (2011)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: COLOMBO, FÁBIO BELOTTI - EP
  • USP Schools: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: SOFTWARES (SIMULAÇÃO); PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; AUTÔMATOS CELULARES; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
  • Language: Português
  • Abstract: O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades básicas para a análise mecânica de estruturas também foi desenvolvido. No que tange à microfabricação em superfície, o software desenvolvido permite simular a corrosão anisotrópica úmida do Si em KOH e deep reactive ion etching (DRIE). O simulador de corrosão úmida utiliza um autômato celular conhecido como BCA. O simulador de DRIE usa um autômato próprio. Para a simulação dos processos de microfabricação em superfície o software fornece quatro processos: deposição de filmes, corrosão de filmes, fotolitografia e planarização. Para corrosão e deposição de filmes, diversos autômatos celulares da literatura foram analisados e os resultados dessas análises é aqui apresentado. Todos os simuladores, tanto de microfabricação em superfície como em substrato, podem ser utilizados em conjunto. Isso torna o software bastante útil e capaz de simular a fabricação de um grande número de dispositivos.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 30.05.2011
  • Acesso online ao documento

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    BibliotecaCód. de barrasNúm. de chamada
    EPBC31200045371FD-5697 Ed.rev.
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    • ABNT

      COLOMBO, Fábio Belotti; PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. 2011.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php >.
    • APA

      Colombo, F. B., & Paez Carreño, M. N. (2011). Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php
    • NLM

      Colombo FB, Paez Carreño MN. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php
    • Vancouver

      Colombo FB, Paez Carreño MN. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php

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