Reactive sputter magnetron reactor for preparation of thin films and simultaneous in-situ structural study by X-ray diffraction (2013)
- Authors:
- Autor USP: CRAIEVICH, ALDO FELIX - IF
- Unidade: IF
- Subjects: FILMES FINOS; DIFRAÇÃO POR RAIOS X
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Conference titles: Reunião Anual de Usuários do LNLS/CNPEM
-
ABNT
FEUGEAS J N, et al. Reactive sputter magnetron reactor for preparation of thin films and simultaneous in-situ structural study by X-ray diffraction. 2013, Anais.. Campinas: Instituto de Física, Universidade de São Paulo, 2013. Disponível em: http://lnls.cnpem.br/rau/files/2013/04/Livro-Resumos-23RAU.pdf. Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Feugeas J N,, Bürgi, J., J Garcia MollejaA. F. Craievich3 , K., Craievich, A. F., Kellermann, G., & Neueschwander, R. (2013). Reactive sputter magnetron reactor for preparation of thin films and simultaneous in-situ structural study by X-ray diffraction. In . Campinas: Instituto de Física, Universidade de São Paulo. Recuperado de http://lnls.cnpem.br/rau/files/2013/04/Livro-Resumos-23RAU.pdf -
NLM
Feugeas J N, Bürgi J, J Garcia MollejaA. F. Craievich3 K, Craievich AF, Kellermann G, Neueschwander R. Reactive sputter magnetron reactor for preparation of thin films and simultaneous in-situ structural study by X-ray diffraction [Internet]. 2013 ;[citado 2024 abr. 19 ] Available from: http://lnls.cnpem.br/rau/files/2013/04/Livro-Resumos-23RAU.pdf -
Vancouver
Feugeas J N, Bürgi J, J Garcia MollejaA. F. Craievich3 K, Craievich AF, Kellermann G, Neueschwander R. Reactive sputter magnetron reactor for preparation of thin films and simultaneous in-situ structural study by X-ray diffraction [Internet]. 2013 ;[citado 2024 abr. 19 ] Available from: http://lnls.cnpem.br/rau/files/2013/04/Livro-Resumos-23RAU.pdf - Fractal nature of porous tricalcium silicate dry gels
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