Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico (2015)
- Authors:
- Autor USP: CUNHA JUNIOR, RUBENS MARTINS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA; MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho é apresentado um estudo sobre a produção e caracterização do nitreto de alumínio (AlN) obtido por Magnetron Sputtering reativo. Aqui reportamos o efeito dos parâmetros de deposição, como densidade de potência de r.f., temperatura e pressão de processo nas propriedades estruturais, morfológicas e elétricas dos filmes de AlN obtidos. Foram realizados estudos sobre os modos vibracionais, pela técnica de espectroscopia de infravermelho por transformada de Fourier (FTIR), das orientações cristalográficas por difração de raios-X e da morfologia da superfície pela técnica de microscopia de força atômica (AFM). Estes estudos nos permitiram produzir filmes finos de AlN com uma alta orientação na direção cristalográfica [002] com uma potência de r.f. de 1,23 W/cm² , uma temperatura de deposição de 200°C e uma pressão de processo de 2 mTorr. Este estudo nos permitiu fabricar filmes de AlN com alta orientação [002] a temperatura ambiente a partir de um alvo de Al. O coeficiente piezoelétrico d₃₃ variou de aproximadamente 4 a 6 pm/V e o d₃₁ 2 a 3 pm/V para filmes cristalinos e d₃₃ 3 pm/V e d₃₁ 1,5 pm/V para filmes amorfos. Os coeficientes piezoelétricos d₃₃ and d₃₁ foram estimados pelo método capacitivo proposto por Mahmoud Al Ahmad and Robert Plana [1], através da variação das dimensões geométricas induzidas pelo campo elétrico aplicado.
- Imprenta:
- Data da defesa: 01.06.2015
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ABNT
CUNHA JUNIOR, Rubens Martins. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico. 2015. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/. Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Cunha Junior, R. M. (2015). Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/ -
NLM
Cunha Junior RM. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/ -
Vancouver
Cunha Junior RM. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/
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