Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (2016)
- Authors:
- Autor USP: COLOMBO, FÁBIO BELOTTI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: AUTÔMATOS CELULARES; SIMULAÇÃO; MICROELETRÔNICA; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Agências de fomento:
- Language: Português
- Abstract: Autômatos celulares e suas variações são atualmente utilizados para simulação de diversos processos físicos. De especial interesse para o campo de simulação de processos de micro-fabricação são os autômatos celulares para evolução de frentes circulares e elípticas e os autômatos celulares para corrosão anisotrópica de Si. No presente trabalho é apresentado um autômato celular alternativo para uso na simulação da evolução topográfica de uma superfície. Este autômato celular apresenta diversas vantagens em relação aos autômatos celulares reportados na literatura, como menor vizinhança e melhores resultados para grandes redes de células. Também foi avaliada a viabilidade do uso de um autômato celular multipartículas para simulação de processos de dopagem e oxidação térmica do silício. Este autômato celular multipartículas se mostrou uma alternativa interessante para simulação da dopagem de Si por impurezas. Aqui é apresentado também detalhes do software desenvolvido, o simMEMS, para incorporar estes autômatos celulares em um único ambiente, permitindo assim a simulação do processo de fabricação completo de inúmeros dispositivos como MEMS, MOEMS e dispositivos e circuitos microeletrônicos. São também, como exemplo, o processo de fabricação de um microespelho para projeção digital de luz, uma porta lógica NOR e uma microagulha para uso em uma matriz de eletrodos com aplicações em biologia e medicina.
- Imprenta:
- Data da defesa: 14.10.2016
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ABNT
COLOMBO, Fábio Belotti. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação. 2016. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/. Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Colombo, F. B. (2016). Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/ -
NLM
Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/ -
Vancouver
Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/ - Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares
- Simulation of PECVD SiO2 deposition using a cellular automata approach
- A multi-process microfabrication simulator based on cellular automata
- Desenvolvimento de um sistema para registro da qualidade da água de lastro
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