@mastersthesis{mastersthesisf70fcbf5,
title   = {Aplicação de filmes de siliceto de titanio e do escoamento térmico rapido de camadas de PSG na fabricação de circuitos integrados nMOS},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1988},
school = {Universidade de São Paulo}
}