@inproceedings{inproceedings401fca12,
title   = {Obtencao de camadas ultrafinas de oxido de silicio por oxidacao termica rapida},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1992},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}