@article{article317eaef8, title = {Medidor optico de espessuras de filmes finos de carbono}, author = {Ueta, N. and Emura, M and Pereira, D and Rossi Junior, E S and Chamon, Luiz Carlos and Silva, C P}, year = {1992}, journal = {Revista Brasileira de Aplicacoes de Vacuo} }