@inproceedings{inproceedings2a4714bf,
title   = {Estudo da quantificação da rugosidade da interface Si-SiO2. (em CD-Rom)},
author = {Lopes, M C V and Gejuiba, N and Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1997},
publisher = {SBMICRO/EFEI},
booktitle   = {Conference of the Brazilian Microelectronics Society}
}