@mastersthesis{mastersthesisec435b8a,
title   = {Engenharia de superfícies e de interfaces aplicada na fabricação de circuitos integrados: cinética da oxidação térmica rápida do silício e deposição eletroquímica de metais},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos},
year = {1999},
school = {Universidade de São Paulo}
}