@mastersthesis{mastersthesis06fd827c,
title   = {Estudo e caracterização do processo PECVD-TEOS para a deposição de filmes de óxido de silício e estudo das interfaces},
author = {Silva, Ana Neilde Rodrigues da and Morimoto, Nilton Itiro},
year = {2000},
school = {Universidade de São Paulo}
}