@inproceedings{inproceedings9163b2c9,
title   = {Dopagem tipo N de filmes de carbeto de silício obtido por PECVD},
author = {Oliveira, R. A. R. and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2000},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simpósio Internacional de Iniciação Científica da USP}
}