@inproceedings{inproceedings97edb1e5, title = {Construção de um vacuum arc plasma deposition system para deposição de filmes}, author = {Martins, Deilton Reis and Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira}, year = {2000}, publisher = {SBF}, booktitle = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada} }