@inproceedings{inproceedings5273f5d2,
title   = {Caracterização química e morfológica de filmes Si'O IND.X' 'N IND.Y':H},
author = {Scopel, Wanderla Luis and Fantini, Márcia Carvalho de Abreu and Alayo Chávez, Marco Isaías and Pereyra, Inés},
year = {2000},
publisher = {LNLS},
booktitle   = {Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS}
}