@inproceedings{inproceedingsfa85187a, title = {Filmes finos obtidos pela polimerizaçao por plasma de éter etílico: mecanismos de deposição}, author = {Lima, Roberto da Rocha and Carvalho, Rodrigo Amorim Motta and Silva, Maria Lucia Pereira da and Demarquette, Nicole Raymonde}, year = {2003}, publisher = {Universidade Estadual Paulista, Faculdade de Ciência}, booktitle = {Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência-CBrAVIC} }