@inproceedings{inproceedings2b3c8da4, title = {EXAFS analysis on SiOxNy films}, author = {Criado, Denise and Fantini, Márcia Carvalho de Abreu and Pereyra, Inés}, year = {2006}, publisher = {SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais}, booktitle = {Brazilian MRS Meeting} }